Â÷¼¼´ë ¿¡³ÊÁö º¯È¯¼ÒÀÚ·Î ÁÖ¸ñ¹Þ°í ÀÖ´Â °í¼º´É 2Â÷¿ø ¿Àü¹Ú¸·À» ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ(¿þÀÌÆÛ)Àº ¹°·Ð, Çöó½ºÆ½À̳ª À¯¸®¿¡ Àü»ç(transfer)ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±â¼úÀÌ °³¹ßµÆ´Ù.
|
°í¼º´É 2Â÷¿ø ¿Àü¹Ú¸·À» ºÐ¸®ÇØ Æò¸é°ú °î¸é¿¡ ºÙÀÎ ¸ð½À
|
±¹¸³ºÎ°æ´ëÇб³ ȲÀç¿ ±³¼ö(¹°¸®Çаú)´Â ¼º±Õ°ü´ëÇб³ ±è¼º¿õ ±³¼ö(¿¡³ÊÁö°úÇаú)¿Í ÇÔ²² °í¼º´É 2Â÷¿ø ¿Àü¹Ú¸·À» ±âÆÇ¿¡¼ ºÐ¸®ÇØ ÀÀ¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±â¼úÀ» °³¹ßÇØ °úÇбâ¼ú ºÐ¾ß ¼¼°èÀû ÇмúÁö
¿¡ ÃÖ±Ù ¹ßÇ¥Çß´Ù.
¿Àü¹Ú¸·À̶õ ¿À» Àü±â¿¡³ÊÁö·Î ¹Ù²ãÁÖ´Â ¿Àü¼ÒÀç·Î ¸¸µç ¹Ú¸·ÀÌ´Ù. ¿þ¾î·¯ºí±â±â, »ç¹°ÀÎÅͳÝ, ½º¸¶Æ®¼¾¼ µî¿¡ Àû¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Â÷¼¼´ë ¼ÒÀÚ·Î, ÃÖ±Ù 2Â÷¿ø ±¸Á¶ ¹Ú¸·¿¡¼ ¿ì¼öÇÑ ¹°¼ºµéÀÌ ¹ß°ßµÅ °ü·Ã ¿¬±¸°¡ Áõ°¡ÇÏ°í ÀÖ´Ù.
Ȳ ±³¼ö ¿¬±¸ÆÀÀº ¿¡ÇÇŹ½Ã(epitaxy) °øÁ¤(±âÆÇ À§¿¡ °í¼øµµÀÇ ´Ü°áÁ¤ ¹Ú¸·À» ¼ºÀå½ÃÅ°´Â °øÁ¤)À¸·Î ¹Ú¸·À» ¼ºÀå(Çü¼º)½ÃŲ µÚ, ÀÌ ¹Ú¸·À» ±âÆÇ¿¡¼ ¼Õ»ó ¾øÀÌ ºÐ¸®ÇØ Æò¸éÀº ¹°·Ð °î¸é¿¡ ºÙ¿© ¿ì¼öÇÑ ¿Àü¿¡³ÊÁö º¯È¯È¿À²À» ´Þ¼ºÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±â¼úÀ» °³¹ßÇس´Ù.
¿¬±¸ÆÀÀº ÅÚ·ç·ý ´Ü¿øÀÚÃþÀ» »çÆÄÀÌ¾î ±âÆÇ Ç¥¸é¿¡ Çü¼ºÇÑ ÈÄ 2Â÷¿ø ¿Àü¹Ú¸·(BST)À¸·Î ¼ºÀå½ÃÄ×´Ù. À̶§ ¿øÀÚ °£ÀÇ »óÈ£ÀÛ¿ëÀÎ ¹Ýµ¥¸£¹ß½º ÈûÀ» ÀÌ¿ëÇÑ ¿¡ÇÇŹ½Ã °øÁ¤À¸·Î ±âÆÇ°ú ¹Ú¸·ÀÌ ¾àÇÏ°Ô °áÇÕÇϵµ·Ï ÇÏ°í, ¿ë¸Å¸¦ ÀÌ¿ëÇØ ÀÌ °áÇÕÀ» ¼±ÅÃÀûÀ¸·Î Á¦°ÅÇØ °áÁ¤±¸Á¶¸¦ À¯ÁöÇϸ鼵µ ¹°¼º¼Õ½ÇÀ» ÃÖ¼ÒÈÇØ ºÐ¸®ÇÏ´Â µ¥ ¼º°øÇß´Ù.
Ȳ ±³¼ö´Â ¡°À̹ø ¿¬±¸·Î Áö±Ý±îÁö Á¦ÇÑÀûÀÎ ±âÆÇ¿¡¼¸¸ ¼ºÀå½Ãų ¼ö ÀÖ¾ú´ø °í¼º´É 2Â÷¿ø ¿Àü¹Ú¸·À» ±âÆÇÀº ¹°·Ð, Çöó½ºÆ½À̳ª À¯¸® µî ´Ù¾çÇÑ ÇüÅÂÀÇ ¹°Áú¿¡ Àü»çÇØ È°¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÅ ½Å°³³äÀÇ ¼ÒÀÚ °³¹ß ¹× 2Â÷¿ø ¹Ú¸·ÀÇ »õ·Î¿î ÀÀ¿ë °¡´É¼ºÀ» Á¦½ÃÇß´Ù´Â Á¡¿¡¼ ÀÇÀÇ°¡ ÀÖ´Ù.¡±¶ó°í ¸»Çß´Ù.
ÀÌ¾î ¡°À̹ø ¿¬±¸´Â ¹ÝµµÃ¼¿Í ÀüÀÚ ºÐ¾ß¿¡ ³Î¸® »ç¿ëµÇ´Â »çÆÄÀÌ¾î ±âÆÇÀÇ Ç¥¸é¹°¼º¿¡ ±â¹ÝÀ» µÎ°í ÀÖ¾î ´Ù¾çÇÑ ÀÀ¿ë±â¼úÀ» Àû¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ°í, ¿þ¾î·¯ºí µð¹ÙÀ̽º µî¿¡ È°¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °í¼º´É ¹Ú¸·Çü ¿¡³ÊÁö¼ÒÀÚ µîÀ» °³¹ßÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇÑ´Ù.¡±¶ó°í ¹àÇû´Ù. ÀÌ¿µ½Ç ±âÀÚ sily1982@kookje.co.kr