미국 상무부가 지난 7일(현지지간) 수출 통제 대상인 ‘미검증 리스트’에 추가로 올린 중국 기관 33곳 가운데 중국이 꿈꾸는 ‘반도체 굴기’의 핵심 회사가 포함된 것으로 파악됐다. 미국 정부가 각종 제재를 동원, 중국의 반도체 생산 발전을 최대한 지연시키려 한다는 분석이 나온다.

9일 미국 상무부 공고에 따르면 리스트에 추가된 기업 중 상하이마이크로일로트로닉스(SMEE)가 포함됐다. ‘중국판 ASML’을 꿈꾸는 SMEE는 중국의 거의 유일한 반도체 노광장비 제작사다. 네덜란드의 ASML이 세계 노광장비 시장을 거의 독점한 가운데 SMEE는 중국이 필사적으로 매달리는 ‘반도체 자급’을 위한 핵심 회사다. 노광장비는 극자외선(EUV) 등 빛을 반도체 원재료인 웨이퍼에 비춰 미세한 회로를 새겨넣을 때 쓴다. 반도체 제품은 크게 노광장비를 이용한 회로 패턴 새겨넣기, 화학 약품을 이용해 필요한 회로를 남기고 나머지 부분을 녹여 벗겨내는 식각, 패키징을 비롯한 후공정을 거쳐 제작되는데 미세공정 시대에 접어들면서 최첨단 노광장비의 중요성이 날로 커진다.

미국의 수출업자는 ‘미검증 리스트’에 오른 기관에 수출할 경우 미 당국의 허가를 받아야 한다. 또 수입업자는 자신이 합법적이며, 미국의 규제를 따르겠다는 점을 입증해야 한다. 따라서 이 같은 규제는 SMEE가 첨단 미세 공정급 노광장비를 개발하는 과정을 더 힘들게 만들 수 있을 것으로 관측된다.

미국 정부는 ASML의 노광장비에 자국산 부품이 다수 사용된다는 점을 근거로 ASML의 최첨단 미세 공정 노광장비의 중국 수출을 제한했다. 중국 최대 반도체 파운드리(반도체 위탁생산)인 SMIC는 미국의 제재로 ASML의 첨단 EUV 노광장비 도입에 차질을 빚는다.

미국은 7일 중국 최대 바이오의약품 위탁생산 업체인 우시바이오를 비롯, 33곳을 수출통제 대상에 올렸다. 연합뉴스