»ï¼ºÀüÀÚ´Â ÀÌ È¸»ç ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ »ê½ÇÀÎ ±âÈï¿¡¼ ÃÑ 20Á¶ ¿ø ±Ô¸ðÀÇ Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ ¿¬±¸°³¹ß ´ÜÁöÀÇ ¼³ºñ ¹ÝÀÔ½ÄÀ» ¿¾ú´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ¾÷üÀÇ ¼³ºñ ¹ÝÀÔ½ÄÀº ÇÙ½É ¼³ºñ¸¦ ³Ö´Â »ý»ê¶óÀÎÀÇ Áß¿äÇÑ °¡µ¿ Æ÷ÀÎÆ®´Ù. Á¶¼±¾÷°èÀÇ Áø¼ö½Ä(¹è¸¦ óÀ½ ¹°¿¡ ¶ç¿ò)°ú ºñ½ÁÇÑ Àǹ̷Π¹Þ¾Æµé¿©Áø´Ù.
|
»ï¼ºÀüÀÚ´Â 18ÀÏ °æ±âµµ ±âÈïÄ·ÆÛ½º¿¡¼ NRD-K ¼³ºñ¹ÝÀÔ½ÄÀ» °³ÃÖÇß´Ù. ¿ÞÂʺÎÅÍ µàÆù ¾ç½Â°ü Çѱ¹ ´ëÇ¥, ¼¼¸Þ½º Á¤ÅÂ°æ ´ëÇ¥, ¸ÓÅ© ±è¿ì±Ô Çѱ¹ ´ëÇ¥, ASML Sunny Stalnaker Çѱ¹ ´ëÇ¥, AMAT ¹Ú±¤¼± Çѱ¹ ´ëÇ¥, »ï¼ºÀüÀÚ Àü¿µÇö ºÎȸÀå DSºÎ¹®Àå, TEL ¿øÁ¦Çü Çѱ¹ ´ëÇ¥, KLA ±è¾çÇü Çѱ¹ ´ëÇ¥, LAM ¹ÚÁØÈ« Çѱ¹ ´ëÇ¥, ¿øÀÍIPS ¾ÈÅÂÇõ ´ëÇ¥, µ¿Áø½ê¹ÌÄÍ ÀÌÁØÇõ ºÎȸÀå. »ï¼ºÀüÀÚ Á¦°ø
|
|
»ï¼ºÀüÀÚ ±âÈïÄ·ÆÛ½º NRD-K Àü°æ. »ï¼ºÀüÀÚ Á¦°ø
|
»ï¼ºÀüÀÚ°¡ 18ÀÏ °æ±âµµ ±âÈïÄ·ÆÛ½º¿¡¼ Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ R&D´ÜÁö ¡®New Research & Development - K(NRD-K)¡¯ ¼³ºñ ¹ÝÀÔ½ÄÀ» °³ÃÖÇß´Ù.
NRD-K´Â »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ¹Ì·¡ ¹ÝµµÃ¼ ±â¼ú ¼±Á¡À» À§ÇØ °Ç¼³ ÁßÀÎ 10¸¸9000§³(3¸¸3000¿© Æò) ±Ô¸ðÀÇ ÃÖ÷´Ü º¹ÇÕ ¿¬±¸°³¹ß ´ÜÁö·Î 2030³â±îÁö ÃÑ ÅõÀÚ ±Ô¸ð°¡ 20Á¶ ¿ø¿¡ À̸¥´Ù.
À̳¯ Çà»ç¿¡´Â »ï¼ºÀüÀÚ Àü¿µÇö ºÎȸÀåÀ» ºñ·ÔÇÑ DSºÎ¹® ÁÖ¿ä °æ¿µÁø°ú ¼³ºñ Çù·Â»ç ´ëÇ¥, ¹ÝµµÃ¼¿¬±¸¼Ò ÀÓÁ÷¿ø µî ¾à 100¸íÀÌ Âü¼®Çß´Ù.
Àü ºÎȸÀåÀº ±â³ä»ç¿¡¼ ¡°NRD-K¸¦ ÅëÇØ Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ ±â¼úÀÇ ±Ù¿øÀû ¿¬±¸ºÎÅÍ Á¦Ç° ¾ç»ê¿¡ À̸£´Â ¼±¼øȯ ü°è È®¸³À¸·Î °³¹ß ¼Óµµ¸¦ ȹ±âÀûÀ¸·Î °³¼±ÇØ ³ª°¥ °Í¡±À̶ó¸ç ¡°»ï¼ºÀüÀÚ ¹ÝµµÃ¼ 50³âÀÇ ¿ª»ç°¡ ½ÃÀÛµÈ ±âÈï¿¡¼ Àçµµ¾àÀÇ ¹ßÆÇÀ» ´ÙÁ® »õ·Î¿î 100³â ¹Ì·¡¸¦ ¸¸µé°Ú´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.
±âÈïÄ·ÆÛ½º´Â 1983³â 2¿ù µµÄì¼±¾ð ÀÌÈÄ »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ¹ÝµµÃ¼ »ç¾÷À» º»°ÝÀûÀ¸·Î ½ÃÀÛÇÑ »ó¡ÀûÀÎ °÷ÀÌ´Ù. 1992³â ¼¼°è ÃÖÃÊ·Î 64Mb D·¥À» °³¹ßÇÏ°í 1993³â ¸Þ¸ð¸® ¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß 1À§ µîÀ» ÀÌ·ï³½ ¹ÝµµÃ¼ ¼º°ø ½ÅÈÀÇ »ê½ÇÀÌ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â ¹ÝµµÃ¼ »ç¾÷ ŵ¿ÁöÀÎ ±âÈï¿¡ ¹Ì·¡ ±â¼ú ¿¬±¸ÀÇ ÇÙ½ÉÀÎ NRD-K¸¦ °Ç¼³ÇØ Çõ½ÅÀÇ Àü±â¸¦ ¸¶·ÃÇÏ°í ±â¼ú·Â°ú Á¶Á÷ °£ ½Ã³ÊÁö¸¦ ±Ø´ëÈÇÒ °èȹÀÌ´Ù.
NRD-K´Â ¸Þ¸ð¸®, ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼, ÆÄ¿îµå¸® µî ¹ÝµµÃ¼ Àü ºÐ¾ßÀÇ ÇÙ½É ¿¬±¸±âÁö·Î ±Ù¿øÀû ±â¼ú ¿¬±¸ºÎÅÍ Á¦Ç° °³¹ß±îÁö ÇÑ °÷¿¡¼ ÀÌ·ïÁú ¼ö ÀÖµµ·Ï °íµµÀÇ ÀÎÇÁ¶ó¸¦ °®Ãâ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
Â÷¼¼´ë ¸Þ¸ð¸® ¹ÝµµÃ¼ °³¹ß¿¡ È°¿ëµÉ °íÇØ»óµµ EUV ³ë±¤¼³ºñ³ª ½Å¹°Áú ÁõÂø ¼³ºñ µî ÃÖ÷´Ü »ý»ê ¼³ºñ¿Í ¿þÀÌÆÛ µÎ ÀåÀ» ÀÌ¾î ºÙ¿© Çõ½ÅÀû ±¸Á¶¸¦ ±¸ÇöÇÏ´Â ¿þÀÌÆÛ º»µù ÀÎÇÁ¶ó µîÀ» µµÀÔÇØ ÃÖ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ ±â¼úÀÇ »ê½Ç ¿ªÇÒÀ» ÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.
¡Ü ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ »ýÅ°è Áß½ÉÀ¸·Î
±âÈïÀº »ï¼ºÀüÀÚ ¹ÝµµÃ¼ »ç¾÷ÀåÀ» Áß½ÉÀ¸·Î ¼ö¸¹Àº ±¹³»¿Ü ¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤¼³ºñ ȸ»çµéÀÌ ¼ÒÀçÇÑ ´ëÇѹα¹ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ ½ÉÀå°úµµ °°Àº °÷ÀÌ´Ù.
NRD-K Á¶¼ºÀ¸·Î ±âÈïÀº ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ »ýÅ°èÀÇ Áß½ÉÁö·Î °Åµì³¯ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ´Â Çù·Â ȸ»ç¿Í R&D Çù·ÂÀ» ´õ¿í È®´ëÇØ ³ª°¥ °èȹÀÌ´Ù. À̳¯ ¼³ºñ ¹ÝÀԽĿ¡ Âü¼®ÇÑ ¾îÇöóÀÌµå ¸ÓƼ¾î¸®¾óÁî ¹Ú±¤¼± Áö»çÀåÀº ¡°»ó»ý Çù·ÂÀÇ ÆÄÆ®³Ê½ÊÀÌ ´õ¿í Áß¿äÇÑ ½Ã±â¿¡ ¾îÇöóÀÌµå ¸ÓƼ¾î¸®¾óÁî´Â »ï¼ºÀüÀÚ¿ÍÀÇ ±ä¹ÐÇÑ Çù·ÂÀ» ÅëÇØ ÇÔ²² Çõ½ÅÀÇ ¼Óµµ¸¦ ³ô¿© ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ ¹ßÀü¿¡ ±â¿©ÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ÃÖ¼±À» ´ÙÇÏ°Ú´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â Áö³ 3ºÐ±â ¿¬±¸°³¹ß ºÐ¾ß¿¡ ºÐ±â ±âÁØ ¿ª´ë ÃÖ´ë ±Ô¸ðÀÎ 8.87Á¶ ¿øÀ» ÅõÀÚÇÑ ¹Ù ÀÖÀ¸¸ç ÷´Ü ÆÐŰ¡ ¼³ºñ¸¦ È®´ëÇÏ´Â µî ¹Ì·¡ ±â¼ú °æÀï·Â È®º¸¸¦ À§ÇØ ÃÑ·ÂÀ» ±â¿ïÀÌ°í ÀÖ´Ù.